실리콘 블록 표면의 연마는 실리콘 웨이퍼 절단 품질과 직접적인 관련이 있습니다. 연마 공정에서는 거친 연삭 휠과 미세한 연삭 휠을 통해 실리콘 블록을 연속적으로 연마합니다. 거친 연삭 휠의 기능은 실리콘 블록 표면의 손상된 층을 절단하는 것입니다. 미세 연삭 휠의 기능은 실리콘 블록 표면의 손상된 층과 거친 모래의 흔적을 연마하고 제거하는 것입니다.
1. 현황
단결정 실리콘 웨이퍼 작업장은 레이저 절단을 가속화하기 위한 기계를 공개합니다. 실제 작업 중에 작업자가 약간 부주의하면 실리콘 블록의 레이저 절단 품질이 저하됩니다. 주요 사항은 다음과 같습니다. 레이저 절단 실리콘 블록 표면에 톱 자국이 있습니다. 실리콘 블록의 크기가 중간에 "부풀어 오릅니다". 단선으로 인해 로컬 실리콘 블록의 모양이 구부러집니다. 현재 작업장의 브러시 연삭 휠은 더 이상 레이저 절단으로 인한 톱 자국을 완전히 제거할 수 없습니다. "불룩한 배" 실리콘 블록의 경우 브러시 연삭 휠의 제한된 연마 능력으로 인해 중간에 있는 큰 크기를 제거할 수 없습니다. 이때, 더욱 강력한 연삭능력을 갖는 연삭휠이 절실히 요구된다.
2. 전략 실행
현재 작업장에서 사용하는 연마기의 주요 원리는 거친 연삭 휠과 미세 연삭 휠을 통해 실리콘 블록의 표면을 연마하는 것입니다. 현재 연마기의 거친 연삭 휠은 다이아몬드 연삭 휠로 대체되고 미세 연삭 휠은 브러시 연삭 휠을 사용하여 실리콘 블록을 연마합니다.
실험에서는 다이아몬드 레진 결합 연삭 휠을 사용합니다. 모든 천연 인공 다이아몬드는 커팅에 사용될 수 있습니다. 다이아몬드는 매우 강한 형태의 탄소입니다. 철과 양친매성이며 급속한 손상을 유발합니다. 접착제는 에폭시 수지입니다. 유형 바인더는 생활 중 마찰로 인한 진동에 대해 일정한 감쇠 효과가 있습니다. 다이아몬드 연삭 휠의 강력한 연삭력을 사용하면 절단기로 인한 실리콘 블록의 일부 표면 문제를 제거할 수 있습니다. 예를 들어 레이저로 절단한 실리콘 블록 표면에 톱 자국이 있습니다. 실리콘 블록의 크기가 중간에 "부풀어 오릅니다". 파손으로 인한 국부적인 실리콘 블록의 형상을 구부리고 기본적인 연마를 한 후 미세한 연삭휠을 사용하여 실리콘 블록의 표면을 개선하면 좋은 결과를 얻을 수 있습니다.
