실리콘 탄화물을 생산하는 가장 간단한 방법은 고온에서 석탄과 같은 실리카 모래 및 탄소를 섭씨 2,500도까지 섭씨 2,500도까지 녹는 것입니다. 더 어둡고 일반적인 버전의 실리콘 카바이드에는 종종 철 및 탄소 불순물이 포함되어 있지만 순수한 SIC 결정은 무색이며 실리콘 카바이드가 2,700도 섭씨로 승화 될 때 형성됩니다. 가열 후, 이들 결정은 Lely 방법으로 알려진 공정에서 더 낮은 온도에서 흑연에 증착된다.
렐리 메소드:이 과정에서 화강암 도가니는 일반적으로 유도에 의해 매우 높은 온도로 가열되어 실리콘 카바이드 분말을 승화시킵니다. 더 낮은 온도 흑연 막대는 기체 혼합물에 있으며, 순수한 실리콘 카바이드가 침전되고 결정을 형성 할 수있게한다.
화학 기상 증착: 대안 적으로, 제조업체는 탄소 기반 합성 공정에서 일반적으로 사용되며 반도체 산업에서 사용되는 화학 증기 증착을 사용하여 입방 SIC를 성장시킨다. 이 방법에서, 가스의 특수 화학적 혼합물이 진공 환경에 도입되고 기판에 증착되기 전에 결합된다.
실리콘 카바이드 웨이퍼를 생산하는 두 가지 방법 모두 성공하려면 엄청난 양의 에너지, 장비 및 지식이 필요합니다.
